並列信号処理用4層3-D IC技術

YAMAZAKI K; ITOH Y; WADA A; MORIMOTO K; TOMITA Y

文献

J-GLOBAL ID：200902025868426963 整理番号：91A0537924

並列信号処理用4層3-D IC技術

4-layer 3-D IC technologies for parallel signal processing.

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著者 (5件)：

YAMAZAKI K

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(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka, JPN)

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ITOH Y

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WADA A

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MORIMOTO K

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資料名：

Technical Digest. International Electron Devices Meeting (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)

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巻： 1990 ページ： 599-602 発行年： 1990年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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標記技術とプロセスを紹介した。SOI膜はレーザ再結晶法で形成...

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(JC04030Y)

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