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J-GLOBAL ID:200902026015258587   整理番号:88A0101828

結晶性Si基板上での非晶質Si薄膜の計算機シミュレーション

Computer simulation of thin amorphous Si films on crystalline Si substrates.
著者 (3件):
資料名:
巻: 94  号:ページ: 28-35  発行年: 1987年10月 
JST資料番号: D0642A  ISSN: 0022-3093  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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Siに関する半経験的ポテンシャルエネルギー関数を用いて,局部...
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  非晶質半導体の構造 
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