結晶性Si基板上での非晶質Si薄膜の計算機シミュレーション

文献

J-GLOBAL ID：200902026015258587 整理番号：88A0101828

Computer simulation of thin amorphous Si films on crystalline Si substrates.

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資料名：
巻： 94 号： 1 ページ： 28-35 発行年： 1987年10月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

Siに関する半経験的ポテンシャルエネルギー関数を用いて,局部...

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半導体薄膜 , 非晶質半導体の構造

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