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J-GLOBAL ID：200902026055643807   整理番号：81A0422626

シリコンウエハ上に形成したZnO/SiO₂隔膜複合共振器

ZnO/SiO₂-diaphragm composite resonator on a silicon wafer.

著者 (3件)： NAKAMURA K (Tohoku Univ.) ,  SASAKI H (Tohoku Univ.) ,  SHIMIZU H (Tohoku Univ.)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 17  号： 14  ページ： 507-509  発行年： 1981年07月09日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンウエハの表面を酸化し,その上にZnO膜をスパッタした...

シソーラス用語： 隔壁 ,...
準シソーラス用語： ダイアフラム

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分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコンウエハ ,  ZnO ,  SiO2 ,  隔膜 ,  共振器