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J-GLOBAL ID：200902027360763215   整理番号：92A0489088

ミニ特集 マイクロ構造を応用した計測制御技術 流量センサ

Special Issue on Measurement and Control Technology using Micro Structures. Micro Flow Sensor.

著者 (1件)： 長田光彦 (山武ハネウエル)
資料名： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 31  号： 6  ページ： 692-694  発行年： 1992年06月 
JST資料番号： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造プロセス技術に立体加工技術を付加して気体計測用のマ...

シソーラス用語： 流量計 ,...
準シソーラス用語： マイクロフローセンサ

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分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

引用文献 (4件)：

• 1) R. Johnson et al.: Sensor and Actuators, 11, 63/82 (1987)
• 2) 弊社 Savemation Review 5, 2 (1987)
• 3) T. R. Ohnstein et al.: Proceedings of 1990 IEEE Solid State Sensor and Actuator Workshop, 158/160 (1990)
• 4) 川田, ほか: 流量計測ハンドブック, 日刊工業新聞社 (1979)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ構造 ,  応用 ,  計測制御 ,  流量センサ