流れ熱量測定法による微小多孔質けい素の特性評価 疎水性SiO<sub>2</sub>分子ふるいとの比較

CANHAM L T; GROSZEK A J

文献

J-GLOBAL ID：200902028320875432 整理番号：92A0684649

流れ熱量測定法による微小多孔質けい素の特性評価疎水性SiO₂分子ふるいとの比較

Characterization of microporous Si by flow calorimetry: Comparison with a hydrophobic SiO₂ molecular sieve.

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巻： 72 号： 4 ページ： 1558-1565 発行年： 1992年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

p型Siウエハの高濃度(50wt%)ふっ化水素酸中での電気化...

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半導体の表面構造

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流れ熱量測定法による微小多孔質けい素の特性評価 疎水性SiO2分子ふるいとの比較

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