シリコン用ゾル-ゲル誘導反射防止膜

文献

J-GLOBAL ID：200902028588542576 整理番号：82A0033188

Sol-gel derived antireflective coatings for silicon.

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資料名：
巻： 5 号： 2 ページ： 159-172 発行年： 1981年08月
JST資料番号： D0513B ISSN： 0165-1633 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

標題の反射防止膜の製法とその特性を詳述。同膜はゾル-ゲル過程...

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太陽エネルギー利用機器

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