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J-GLOBAL ID:200902029155175850   整理番号:91A0481941

走査型電子顕微鏡を用いたモアレ法による微視的変形挙動の観察

Observation of micro-deformation by moire method using a scanning electron microscope.
著者 (3件):
資料名:
巻: 40  号: 452  ページ: 637-641  発行年: 1991年05月 
JST資料番号: F0385A  ISSN: 0514-5163  CODEN: ZARYA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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電子線リソグラフィを利用して試料上に微細な格子を作製し,走査...
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弾性力学一般 
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