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J-GLOBAL ID：200902029394712396   整理番号：92A0460815

Chemistry of titanium dry etching in fluorinated and chlorinated gases.

著者 (2件)： FRACASSI F (Univ. Bari, Bari, ITA) ,  D’AGOSTINO R (Univ. Bari, Bari, ITA)
資料名： Pure and Applied Chemistry  (Pure and Applied Chemistry)
巻： 64  号： 5  ページ： 703-707  発行年： 1992年05月 
JST資料番号： H0385A  ISSN： 0033-4545  CODEN： PACHAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)