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J-GLOBAL ID:200902029686416496   整理番号:92A0659293

フィードフォワード制御を併用したアクティブ除振装置の研究

Study of Active Isolation System with Feedforward Control.
著者 (3件):
資料名:
巻: 58  号: 552  ページ: 2381-2387  発行年: 1992年08月 
JST資料番号: F0045B  ISSN: 0387-5024  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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アクティブ除振装置は精密機器の微振動対策に用いるが,フィード...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  緩衝器,ばね 
引用文献 (4件):
  • (1) Ohmi, T. and Yasuda, M., Evaluating passive and Active Microvibration Control Technologies, Microcontamination. 7-9 (1989). 23.
  • 2) 安田,精密機器除振装置,日本ゴム協会誌,64-2(1991),128.
  • (3) 藤田•福久•村井•高橋•片山.リニヤモータを用いたアクティブ微振動制御装置の研究,機論,56-523,C(1990),628.
  • (4) 小林•平井•熊谷,露光装置用アクティブ振動キャンセラーの開発,67期機械力学講演会論文集,(1989-10),195.
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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