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J-GLOBAL ID：200902029715760371   整理番号：84A0105878

超精密加工および超精密材料処理の現状とその動向

Current status in, and future trends of, ultraprecision machining and ultrafine materials processing.
著者 (1件)：
TANIGUCHI N

TANIGUCHI N について

(Tokyo Science Univ.)

Tokyo Science Univ. について


資料名：
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)  (CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))

CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research) について


巻： 32  号： 2  ページ： 573-582  発行年： 1983年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロ・テクノロジーあるいはナノ・テクノロジーと呼ばれる超...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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精密加工

精密加工 について

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工作精度

工作精度 について

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分類 (2件)：
分類
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特殊加工 
(QC04000Y)

特殊加工 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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精密加工

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超精密

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, 
現状

現状 について

, 
動向

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