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J-GLOBAL ID:200902030606316354   整理番号:84A0173907

マイクロ波プラズマ中での気相からのダイヤモンドの合成

Diamond synthesis from gas phase in microwave plasma.
著者 (4件):
資料名:
巻: 62  号:ページ: 642-644  発行年: 1983年08月 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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標題についての予備的結果を報告。マイクロ波グロー放電条件下に...
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
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