走査型力顕微鏡用のシリコンセンサの微細加工

WOLTER O; BAYER T; GRESCHNER J

文献

J-GLOBAL ID：200902031245262170 整理番号：91A0608968

走査型力顕微鏡用のシリコンセンサの微細加工

Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy.

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資料名：
巻： 9 号： 2 Pt 2 ページ： 1353-1357 発行年： 1991年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si製力センサの微細加工を行うバッチ処理法を開発した。力セン...

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顕微鏡法

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