文献
J-GLOBAL ID:200902031278455305
整理番号:87A0323925
SiO2/多結晶けい素の界面における粗さと電気伝導
Roughness and electrical conduction of SiO2/polycrystalline silicon interfaces.
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著者 (3件):
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資料名:
ページ:
259-262
発行年:
1986年
JST資料番号:
K19870207
ISBN:
9971-50-197-X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
シンガポール (SGP)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
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多結晶Si/SiO
2/多結晶Si構造で...
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分類 (1件):
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金属-絶縁体-半導体構造【’81~’92】
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