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J-GLOBAL ID:200902032821668264   整理番号:88A0353659

融液からのSiの水平板状晶成長の有限要素法による解析

Finite element analysis of horizontal Si sheet growth from the melt.
著者 (4件):
資料名:
ページ: 193-202  発行年: 1986年 
JST資料番号: K19880351  ISBN: 2-86883-041-2  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: フランス (FRA)  言語: 英語 (EN)
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水平保持ウェブ法によるSiシート成長に対する最適の熱伝達式を...
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分類 (2件):
分類
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半導体の結晶成長  ,  固体デバイス材料 

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