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J-GLOBAL ID:200902033234271226   整理番号:88A0278509

くえん酸を主体にした溶液を用いたInPの陽極酸化

Anodic oxidation of InP using a citric-acid-based solution.
著者 (1件):
資料名:
巻: 63  号:ページ: 500-505  発行年: 1988年01月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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InPの生来の酸化物が水に極度に敏感であることを考慮し,安定...
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分類 (2件):
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金属-絶縁体-半導体構造【’81~’92】  ,  電気化学反応 
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