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J-GLOBAL ID：200902033234271226   整理番号：88A0278509

くえん酸を主体にした溶液を用いたInPの陽極酸化

Anodic oxidation of InP using a citric-acid-based solution.

著者 (1件)： FRANZ G (Siemens Research Lab., Muenchen, DEU)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 63  号： 2  ページ： 500-505  発行年： 1988年01月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： InPの生来の酸化物が水に極度に敏感であることを考慮し,安定...

シソーラス用語： リン化インジウム ,...
準シソーラス用語： 陽極酸化 ,...

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分類 (2件)： 金属-絶縁体-半導体構造【’81~’92】  (BM03074V) ,  電気化学反応  (CB07050F)

タイトルに関連する用語 (4件)： くえん酸 ,  溶液 ,  InP ,  陽極酸化