シリコン上のゲルマニウムの表面活性剤制御固相エピタクシー

OSTEN H J; KLATT J; LIPPERT G; DIETRICH B; BUGIEL E

文献

J-GLOBAL ID：200902034167284756 整理番号：92A0607927

シリコン上のゲルマニウムの表面活性剤制御固相エピタクシー

Surfactant-Controlled Solid Phase Epitaxy of Germanium on Silicon.

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資料名：
巻： 69 号： 3 ページ： 450-453 発行年： 1992年07月20日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

表面活性剤としてSbを用いた場合の影響についてSi(100)...

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半導体薄膜

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