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J-GLOBAL ID:200902034257435842   整理番号:86A0406770

厚膜技術用コンベヤトンネル炉 こう配設備中の圧力制御されたヒートパイプ装備

Banddurchlaufofen fuer die Dickschichttechnik - Integration eines druckgeregelten Waermerohres in eine Gradientenanlage.
著者 (3件):
資料名:
巻: 44  号:ページ: B132-B137  発行年: 1986年06月 
JST資料番号: B0159B  ISSN: 0340-3521  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: ドイツ語 (DE)
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入口から中心部へと温度を高くし出口へ向けて下げて来るトンネル...
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  電熱  ,  熱交換器,冷却器 

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