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J-GLOBAL ID:200902034311138832   整理番号:91A0124723

粒子線を利用したマイクロ加工

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巻: 93  号: 865  ページ: 995  発行年: 1990年12月 
JST資料番号: F0228A  ISSN: 0021-4728  CODEN: NKGKA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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