(Ti,Al)N-PVDコーティングの構造

文献

J-GLOBAL ID：200902035559702153 整理番号：88A0035984

On the structure of (Ti, Al)N-PVD coatings.

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資料名：
巻： 70 号： 2 ページ： 318-322 発行年： 1987年10月
JST資料番号： H0505A ISSN： 0022-4596 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

PVDマグネトロンスパッタリング法を用いて超炭化物型M<su...

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その他の無機化合物の薄膜

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