スパッタリングで蒸着した被覆膜の微細構造

文献

J-GLOBAL ID：200902035803965102 整理番号：87A0244403

The microstructure of sputter-deposited coatings.

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資料名：
巻： 4 号： 6 ページ： 3059-3065 発行年： 1986年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

比較的低温での蒸着では好ましくない有孔構造の膜を生ずる傾向が...

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金属薄膜 , 放射線による構造と物性の変化一般

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