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J-GLOBAL ID：200902036647270804   整理番号：82A0020606

希土類けい化物と希土類ゲルマニウム化合物での拡散マーカ実験: 2つの原子種の相対移動度

Diffusion marker experiments with rare-earth silicides and germanides: Relative mobilities of the two atom species.

著者 (3件)： BAGLIN J E E (IBM, New York) ,  D’HEURLE F M (IBM, New York) ,  PETERSSON C S (IBM, New York)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 4  ページ： 2841-2846  発行年： 1981年04月 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(およびGe)基板上の金属薄膜からえられる希土類元素のけ...

シソーラス用語： 希土類元素化合物 ,...

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分類 (1件)： 固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 希土類 ,  けい化物 ,  ゲルマニウム化合物 ,  拡散 ,  マーカ ,  実験 ,  移動度