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J-GLOBAL ID：200902039020028381   整理番号：90A0570534

超高真空3軸微動テーブルの試作と評価

Development and studies of three-axis precise positioning table for ultrahigh vacuum.

著者 (4件)： 佐伯宏 (総合研究大学院) ,  山形豊 (東大 生産技研) ,  樋口俊郎 (東大 生産技研) ,  石丸肇 (高エネルギー物理研)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 33  号： 3  ページ： 248-250  発行年： 1990年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造や表面分析において超高真空下で使用できる高分解位置...

シソーラス用語： 超高真空 ,...

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分類 (3件)： 真空技術  (BA02020L) ,  サーボ機構  (IC03030Q) ,  試料技術  (BA02070O)

引用文献 (2件)：

• 1) H. Ishimaru, J. Vac. Sci. Technol., A7, 2439 (1989)
• 2) T. Higuchi, M. Watanabe and K. Kudou, J. Jpn. Soc. Preci. Eng. 54, 2107 (1988)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高真空 ,  3軸 ,  微動 ,  試作 ,  評価