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J-GLOBAL ID：200902040221949017   整理番号：81A0083167

シリコンを用いたねじれスキャンニングミラー

Silicon torsional scanning mirror.
著者 (1件)：
PETERSEN K E

PETERSEN K E について


資料名：
IBM Journal of Research and Development  (IBM Journal of Research and Development)

IBM Journal of Research and Development について


巻： 24  号： 5  ページ： 631-637  発行年： 1980年09月 
JST資料番号： D0061B  ISSN： 0018-8646  CODEN： IBMJAE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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単結晶シリコンから普通のバッチ方式のフォトエッチングと薄膜技...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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記録ヘッド

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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スキャンニングミラー

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分類 (1件)：
分類
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電子・磁気・光学記録 
(NC06020F)

電子・磁気・光学記録 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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シリコン

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ねじれ

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, 
スキャンニング

スキャンニング について

, 
ミラー

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