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J-GLOBAL ID：200902040328323463   整理番号：90A0132375

電解複合研磨による金属の超鏡面化技術

Super mirror finishing on metal surface by electro chemical buffing.
著者 (2件)：
佐藤憲二

佐藤憲二 について

(日造精密研磨)

日造精密研磨 について

, 
馬場吉康

馬場吉康 について

(日造精密研磨)

日造精密研磨 について


資料名：
真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)

真空 について


巻： 32  号： 8  ページ： 655-660  発行年： 1989年08月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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電解作用と砥粒研磨材による擦過作用とを複合させた電解複合研磨...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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電解研磨

電解研磨 について

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電解複合研磨

電解複合研磨 について

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分類 (1件)：
分類
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その他の表面処理 
(WC08070F)

その他の表面処理 について

引用文献 (10件)：
  • 1) 大見 : 日本金属学会編「超高真空材料とガス」シンポジウム予稿集1987.6
  • 2) 小田桐・他 : 日本真空協会「真空」第26巻5号1982.5
  • 3) 大見, 菅野, 前畑, 馬場 : 日経BP社「別冊マイクロデバイス」「超クリーン化技術」1988.10
  • 4) 前畑, 馬場 : 半導体基盤技術研究会編「超高純度ガス供給システム」1987.11
  • 5) 大島 : 極高真空容器の試作1989.3
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タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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電解

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研磨

研磨 について

, 
鏡面

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