2波長位相ずれ干渉計測

CHENG Y-Y; WYANT J C

文献

J-GLOBAL ID：200902040903372730 整理番号：85A0196041

2波長位相ずれ干渉計測

Two-wavelength phase shifting interferometry.

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巻： 23 号： 24 ページ： 4539-4543 発行年： 1984年12月15日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

位相ずれ干渉計測(PSI)と2波長干渉計測(TWLI)の考え...

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干渉測定と干渉計

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