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J-GLOBAL ID：200902041172059023   整理番号：89A0598083

赤外線センサ用PbTiO₃系薄膜の作製

La modified PbTiO₃ thin films for infrared detector.

著者 (1件)： 飯島賢二 (松下電器産業 中研)
資料名： 鉱物学雑誌  (Journal of the Mineralogical Society of Japan)
巻： 19  号： 2  ページ： 55-65  発行年： 1989年07月 
JST資料番号： G0124A  ISSN： 0454-1146  CODEN： KOBZAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFマグネトロンスパッタリング法を用いて,高度にc軸配向した...

シソーラス用語： RFスパッタリング ,...
準シソーラス用語： ペロブスカイト型構造

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分類 (3件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• 1) G. Shirance, R. Pepinsky and B. C. Frazer : Acta Crystallogra., 9, 131 (1956)
• 2) V. G. Gavrilyachenko, R. I. Spinko, M. A. Martynenko and E. G. Fesenko : Soy. Phys. Solid state, 12, 1203 (1970)
• 3) K. Iijima, S. Kawashima and I. Ueda : Proc. 3 rd Sensor Symp., 133 (1983)
• 4) 石垣武夫,中村邦雄,山香英三:National Technical Report, 24, 453(1978)5) S. Nakano, Y. Kishi, T. Yokoo, K. Shibata and Y. Kuwano : Jpn. J. Appl. Phys., 20-4, 155 (1981)
• 6) 麻蒔立男:薄膜作成の基礎,日刊工業新聞社(1979)

タイトルに関連する用語 (3件)： 赤外線センサ ,  薄膜 ,  作製