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J-GLOBAL ID：200902041640135360   整理番号：90A0097621

CF₄rfプラズマ中のCF₂,CFラジカルの空間および時間分解レーザ励起蛍光の測定

Spatially and temporally resolved laser-induced fluorescence measurements of CF₂ and CF radicals in a CF₄rf plasma.

著者 (4件)： BOOTH J P (Oxford Univ., Oxford, GBR) ,  HANCOCK G (Oxford Univ., Oxford, GBR) ,  PERRY N D (Oxford Univ., Oxford, GBR) ,  TOOGOOD M J (Oxford Univ., Oxford, GBR)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 66  号： 11  ページ： 5251-5257  発行年： 1989年12月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CF₄プラズマエッチング装置における基...

シソーラス用語： プラズマ分光 ,...
準シソーラス用語： 四ふっ化炭素

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： Cf ,  ラジカル ,  分解 ,  レーザ励起蛍光