MASAKI T について
Matsushita Research Inst. Tokyo, Inc., Kanagawa, JPN について
KAWATA K について
Matsushita Research Inst. Tokyo, Inc., Kanagawa, JPN について
MASUZAWA T について
Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990 について
放電加工 について
工作精度 について
特殊加工 について
放電 について
微細加工法 について
応用 について