マイクロアクチュエータ

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J-GLOBAL ID：200902043555595266 整理番号：88A0563807

Micro actuators.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 54 号： 9 ページ： 1635-1640 発行年： 1988年09月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

標題の駆動には静電気その他が利用可能でその比較表を示した。こ...

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制御機器一般

引用文献 (13件)：

1) W.S.N.Trimmerほか : ミクロの機械システム, 日経エレクトロニクス, 1987年12月14日号 (通巻436号), p.209.
2) 特集「マイクロマシーニングとマイクロメカニクス」, 電気学会論文誌D, 108, 3 (1988) 205.
3) H. Fujita et al. : Electrostatic Micro Actuators, Tech. Digest of the 7th Sensor Symp., Tokyo, (1988) 169.
4) T. A. Lober et al. : Surface-Micromachining Processes for Electrostatic Microactuator Fabrication, Tech. Digest of IEEE Workshop on Solid-State Sensors, Hilton Head Island, SC, June (1988) 59.
5) S. F. Bart et al. : Design Considerations for Micro-machined Electric Actuators, Sensors & Actuators, in Press.

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