材料の表面変性のためのプラズマ源イオン注入法

CONRAD J R; RADTKE J L; DODD R A; WORZALA F J; TRAN N C

文献

J-GLOBAL ID：200902043584952086 整理番号：88A0223047

材料の表面変性のためのプラズマ源イオン注入法

Plasma source ion-implantation technique for surface modification of materials.

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巻： 62 号： 11 ページ： 4591-4596 発行年： 1987年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマイオン注入(PSII)は,金属,プラスチックおよびセ...

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放射線による構造と物性の変化一般 , プラズマ応用

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