文献
J-GLOBAL ID：200902044139216325   整理番号：91A0704190

汎用低圧オゾン源

A versatile low-pressure ozone source.
著者 (5件)：
COLEMAN E

COLEMAN E について

(AT&T Bell Lab., New Jersey)

AT&T Bell Lab., New Jersey について

, 
SIEGRIST T

SIEGRIST T について

(AT&T Bell Lab., New Jersey)

AT&T Bell Lab., New Jersey について

, 
MIXON D A

MIXON D A について

(AT&T Bell Lab., New Jersey)

AT&T Bell Lab., New Jersey について

, 
TREVOR P L

TREVOR P L について

(AT&T Bell Lab., New Jersey)

AT&T Bell Lab., New Jersey について

, 
TREVOR D J

TREVOR D J について

(AT&T Bell Lab., New Jersey)

AT&T Bell Lab., New Jersey について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 9  号： 4  ページ： 2408-2409  発行年： 1991年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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市販のオゾン発生器で生成した8wt%のO<sub>3</su...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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オゾン

オゾン について

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低圧オゾン源

低圧オゾン源 について


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分類 (3件)：
分類
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薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

薄膜成長技術・装置 について

,  酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  超伝導材料 
(BM04041W)

超伝導材料 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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, 
低圧

低圧 について

, 
オゾン

オゾン について


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