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J-GLOBAL ID：200902044406567230   整理番号：89A0587324

高分解能低電圧走査型電子顕微鏡の設計

Design of a high-resolution low-voltage scanning electron microscope.
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著者 (1件)：
ZACH J

ZACH J について

(Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)

Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU について


資料名：
Optik  (Optik)

Optik について


巻： 83  号： 1  ページ： 30-40  発行年： 1989年08月 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記高分解能を達成するのに次の方法を採った。一次色収差と三次...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡 について

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分類 (1件)：
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
(BD02050B)

電子顕微鏡,イオン顕微鏡 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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高分解能

高分解能 について

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低電圧

低電圧 について

, 
走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡 について

, 
設計

設計 について


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