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J-GLOBAL ID：200902044524037040   整理番号：92A0002668

酸化チタン薄膜の溶液先駆体(プレカーサ)化学蒸着

Solution precursor chemical vapor deposition of titanium oxide thin films.

著者 (3件)： LU J-P (Cornell Univ., NY, USA) ,  WANG J (Cornell Univ., NY, USA) ,  RAJ R (Cornell Univ., NY, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 204  号： 1  ページ： L13-L17  発行年： 1991年09月20日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： キャリアガスの代りに液体を直接反応容器に注入し,基板に到達す...

シソーラス用語： 薄膜成長 ,...
準シソーラス用語： プレカーサ

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化チタン薄膜 ,  溶液 ,  先駆体 ,  プレカーサ ,  化学蒸着