レーザ増強気体-表面化学  基礎過程と応用

CHUANG T J

文献

J-GLOBAL ID：200902044529490266 整理番号：83A0163930

レーザ増強気体-表面化学基礎過程と応用

Laser-enhanced gas-surface chemistry: Basic processes and applications.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 21 号： 3 ページ： 798-806 発行年： 1982年09月
JST資料番号： C0789A ISSN： 0022-5355 CODEN： JVSTAL 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

固体の化学的エッチングに直接関係する面に重点を置き,レーザ増...

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レーザ照射・損傷 , 固体デバイス製造技術一般

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