文献

J-GLOBAL ID：200902044591499814   整理番号：87A0121264

結合破壊とスパッタ原子のイオン化

Bond breaking and the ionization of sputtered atoms.

著者 (2件)： YU M L (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA) ,  MANN K (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名： Physical Review Letters  (Physical Review Letters)
巻： 57  号： 12  ページ： 1476-1479  発行年： 1986年09月22日 
JST資料番号： H0070A  ISSN： 0031-9007  CODEN： PRLTAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化および窒化中のSi(100)表面からのSi<sup>+<...

シソーラス用語： 酸素 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=87A0121264&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0070A") }}

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 破壊 ,  スパッタ ,  原子 ,  イオン化