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J-GLOBAL ID：200902045589214841   整理番号：90A0606322

マイクロ加工高調波型並びに通常型の側面駆動モータの動作

Operation of microfabricated harmonic and ordinary side-drive motors.

著者 (4件)： MEHREGANY M (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  NAGARKAR P (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  SENTURIA S D (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  LANG J H (Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
資料名： Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990  (Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 1-8  発行年： 1990年 
JST資料番号： K19900617  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新型の可変容量高調波側面駆動型マイクロモータをマイクロマシー...

シソーラス用語： 微細加工 ,...

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分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ加工 ,  波型 ,  駆動モータ