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J-GLOBAL ID：200902045973937583   整理番号：89A0030766

真空アーク蒸着したダイヤモンド様膜のEELS解析

EELS analysis of vacuum arc-deposited diamond-like films.

著者 (3件)： BERGER S D (Cavendish Lab., Cambridge, GBR) ,  MCKENZIE D R (Cavendish Lab., Cambridge, GBR) ,  MARTIN P J (CSIRO, New South Wales, AUS)
資料名： Philosophical Magazine Letters  (Philosophical Magazine Letters)
巻： 57  号： 6  ページ： 285-290  発行年： 1988年06月 
JST資料番号： T0360A  ISSN： 0950-0839  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素真空アークからのプラズマ流を凝縮して作製した非晶質,ダイ...

シソーラス用語： アーク放電 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空アーク蒸着 ,  ダイヤモンド ,  EELS ,  解析