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J-GLOBAL ID：200902046274796733   整理番号：87A0348521

走査型電子顕微鏡(SEM)の電子チャネリングモードを用いた半導体基板上の残留酸化物層の厚さの検査

Контроль толщины остаточных оксидных слоев на полупроводниковых подложках с помощью режима электронного каналирования РЭМ.

著者 (4件)： ВИНОГРАДОВА Н С ,  НОСИКОВ С В ,  СОРОКИН И Н ,  СОСНОВСКИХ Ю Н
資料名： Zavodskaya Laboratoriya  (Zavodskaya Laboratoriya)
巻： 52  号： 12  ページ： 34-37  発行年： 1986年 
JST資料番号： R0131A  ISSN： 0321-4265  CODEN： ZVDLA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ロシア (RUS)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 各種の化学処理を施した後のGaAs基板表面の残留酸化物層の厚...

シソーラス用語： 膜厚 ,...

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分類 (3件)： 試料技術  (BA02070O) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 走査型電子顕微鏡 ,  SEM ,  電子チャネリング ,  半導体基板 ,  残留 ,  酸化物層 ,  厚さ ,  検査