文献
J-GLOBAL ID：200902046772410443   整理番号：91A0561550

Fabrication of assembled micromechanical components via deep X-ray lithography.

著者 (7件)：
GUCKEL H

GUCKEL H について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
SKROBIS K J

SKROBIS K J について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
CHRISTENSON T R

CHRISTENSON T R について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
KLEIN J

KLEIN J について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
HAN S

HAN S について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
CHOI B

CHOI B について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について

, 
LOVELL E G

LOVELL E G について

(Univ. Wisconsin, WI)

Univ. Wisconsin, WI について


資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991  (Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991)

Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991 について


ページ： 74-79  発行年： 1991年 
JST資料番号： K19910274  ISBN： 0-87942-642-X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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