マイクロ波プラズマ化学蒸着を利用したダイアモンドの合成  ダイアモンド膜の形態と成長

KOBASHI K; NISHIMURA K; KAWATE Y; HORIUCHI T

文献

J-GLOBAL ID：200902048298182291 整理番号：89A0003726

マイクロ波プラズマ化学蒸着を利用したダイアモンドの合成ダイアモンド膜の形態と成長

Synthesis of diamonds by use of microwave plasma chemical-vapor deposition: Morphology and growth of diamond films.

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巻： 38 号： 6 ページ： 4067-4084 発行年： 1988年08月15日
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ波プラズマCVD法でSi基板に蒸着したダイアモンド多...

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半導体薄膜 , 半導体の表面構造

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マイクロ波プラズマ化学蒸着を利用したダイアモンドの合成 ダイアモンド膜の形態と成長

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