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J-GLOBAL ID：200902048488596408   整理番号：91A0263995

SIMOXの歴史的展望

Historical overview of SIMOX.

著者 (1件)： IZUMI K (NTT LSI Lab., Atsugi-shi, JPN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 42  号： 5/6  ページ： 333-340  発行年： 1991年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SIMOX技術の歴史を,起源から最近の評価レベルまで,特にN...

シソーラス用語： SOI構造 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  金属-絶縁体-半導体構造【’81~’92】  (BM03074V)

タイトルに関連する用語 (3件)： SIMOX ,  歴史 ,  展望