高精密測定における格子干渉計の技術と応用

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J-GLOBAL ID：200902048588431856 整理番号：93A0773816

Technology and applications of grating interferometers in high-precision measurement.

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資料名：
巻： 14 号： 3 ページ： 147-154 発行年： 1992年07月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

過去数年間に市場に出た格子干渉計は分解能と測定精度の点で職場...

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干渉測定と干渉計

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