ウエハスケール集積化のための欠陥クラスタ解析

PUKITE P R; BERMAN C L

文献

J-GLOBAL ID：200902050731953510 整理番号：90A0814320

ウエハスケール集積化のための欠陥クラスタ解析

Defect cluster analysis for wafer-scale integration.

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資料名：
巻： 3 号： 3 ページ： 128-135 発行年： 1990年08月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記解析のため新しく相関関数技法を提案し,冗長回路レイアウト...

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信頼性

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