β-SiC/Si選択ヘテロエピタキシー

文献

J-GLOBAL ID：200902050837548496 整理番号：90A0863362

β-SiC and Si selection heteroepitaxy.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： EFM-90 号： 17-23 ページ： 1-9 発行年： 1990年09月07日
JST資料番号： Z0970A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

基板にSiP^-(100)を用いたSiH...

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固体デバイス製造技術一般

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