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J-GLOBAL ID:200902051137632557 整理番号:83A0013424
空気軸受と超精密加工
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著者 (1件):
田中克敏
田中克敏 について
名寄せID(JGPN) 201550000000796509 ですべてを検索
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(
東芝機械
)
東芝機械 について
名寄せID(JGON) 202351000185206023 ですべてを検索
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資料名:
機械の研究 (Science of Machine)
機械の研究 について
JST資料番号 F0147A ですべてを検索
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巻:
34
号:
12
ページ:
1304-1310
発行年:
1982年12月
JST資料番号:
F0147A
ISSN:
0368-5713
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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空気軸受は超精密工作機械,測定機,LSI関連機器などで使用さ...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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空気軸受
空気軸受 について
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工作精度
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分類
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