プラズマ励起周波数に対するイオンの応答

BRUCE R H

文献

J-GLOBAL ID：200902052598243290 整理番号：82A0138376

プラズマ励起周波数に対するイオンの応答

Ion response to plasma excitation frequency.

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資料名：
巻： 52 号： 12 ページ： 7064-7066 発行年： 1981年12月
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ回路素子を作成する際交流放電下で化学的エッチングを行...

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気体放電 , 固体デバイス製造技術一般

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