精密加工用のマイクロ工具位置決めシステムの開発

文献

J-GLOBAL ID：200902052613792289 整理番号：90A0007336

Development of micro tool positioning system for precision machining.

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資料名：
ページ： 147-152 発行年： 1989年
JST資料番号： K19890437 資料種別：会議録 (C)
記事区分：紹介的記事発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

行程7μm,分解能1nmの位置決めシステムを開発した。行程と...

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工作機械要素,ジグ,チャック

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