室化チタン膜被覆による大電力高周波セラミック窓のマルチパクタリング放電の抑制

文献

J-GLOBAL ID：200902053320571039 整理番号：91A0950110

Control of multipactoring discharge of a high power high frequency ceramic window by titanium nitride film cladding.

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資料名：
巻： 84th ページ： 97-98 発行年： 1991年10月
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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気相めっき , 金属材料へのセラミック被覆

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