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J-GLOBAL ID：200902053528813176   整理番号：85A0208312

はん用マイコン活用技術とその事例 ウエハ移載ロボットへの適用

General-purpose microcomputer application technology and case studies. Application to wafer transferring robot.

著者 (2件)： 谷川徹 (シャープ精密技研) ,  中尾治 (シャープ精密技研)
資料名： 自動化技術  (Mechanical Automation)
巻： 17  号： 4  ページ： 80-86  発行年： 1985年04月 
JST資料番号： S0674A  ISSN： 0287-8461  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シャープ(株)で開発したウエハ移載ロボットにおけるマイコンの...

シソーラス用語： マイクロコンピュータ ,...
準シソーラス用語： 工業用ロボット

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： はん用 ,  マイコン ,  活用 ,  ウエハ ,  移載ロボット