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J-GLOBAL ID：200902053937749650   整理番号：93A0708524

誘導性RF放電の簡単な解析

A simple analysis of an inductive RF discharge.

著者 (3件)： PIEJAK R B (GTE Lab. Inc., MA, USA) ,  GODYAK V A (GTE Lab. Inc., MA, USA) ,  ALEXANDROVICH B M (GTE Lab. Inc., MA, USA)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 1  号： 3  ページ： 179-186  発行年： 1992年08月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記低圧放電を,空心変圧器の単巻二次回路と考えて解析した。電...

シソーラス用語： 気体放電 ,...

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分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (2件)： RF放電 ,  解析